Administratie | Alimentatie | Arta cultura | Asistenta sociala | Astronomie |
Biologie | Chimie | Comunicare | Constructii | Cosmetica |
Desen | Diverse | Drept | Economie | Engleza |
Filozofie | Fizica | Franceza | Geografie | Germana |
Informatica | Istorie | Latina | Management | Marketing |
Matematica | Mecanica | Medicina | Pedagogie | Psihologie |
Romana | Stiinte politice | Transporturi | Turism |
Metoda de crestere prin depunere chimica din faza de vapori (CVD)
CVD este o metoda puternica in tehnologia actuala. Ea permite:
- realizarea unor straturi epitaxiale la temperaturi (θce) inferioare temperaturi de topire (θt);
- controlul relativ simplu al grosimii stratului epitaxial si a doparii (uniforme) a acestuia;
- perfectiune cristalina ridicata a stratului (mai ales in varianta homoepitaxiala);
- folosirea unor presiuni 'rezonabile' in reactor (0.1-3 atm) evitand dificultatile tehnologice pentru producerea unui vid inaintat;
- cresterea unor straturi compuse (multi component).
Exista sigur si unele dezavantaje legate de:
- complexitatea fazei de vapori; «urme ale gazului purtator in stratul depus;
- reactii chimice nedorite; interdifuzii strat - substrat; autodopare;
- echipamentul CVD se poate realiza in diferite variante de reactoare: verticale, orizontale, Barrel, Pancake, etc, in functie de tipul epitaxiei si productivitatea necesara.
In general, trebuie asigurate:
- incalzirea uniforma a plachetelor;
- racirea peretilor reactorului cu aer sau apa de racire.
Fig.6. Reactor pentru crestere epitaxiala a straturilor dopate de siliciu
Doparea poate fi realizata ingloband in gazul purtator specii dopante (fig. 6) cum ar fi diboran B2H6 (gaz), pentru B in siliciu sau fosfina (PH3), arsina (AsH3) pentru dopanti de tip n cum ar fi fosfor respectiv arseniu.
Acest document nu se poate descarca
E posibil sa te intereseze alte documente despre:
|
Copyright © 2024 - Toate drepturile rezervate QReferat.com | Folositi documentele afisate ca sursa de inspiratie. Va recomandam sa nu copiati textul, ci sa compuneti propriul document pe baza informatiilor de pe site. { Home } { Contact } { Termeni si conditii } |
Documente similare:
|
ComentariiCaracterizari
|
Cauta document |