Administratie | Alimentatie | Arta cultura | Asistenta sociala | Astronomie |
Biologie | Chimie | Comunicare | Constructii | Cosmetica |
Desen | Diverse | Drept | Economie | Engleza |
Filozofie | Fizica | Franceza | Geografie | Germana |
Informatica | Istorie | Latina | Management | Marketing |
Matematica | Mecanica | Medicina | Pedagogie | Psihologie |
Romana | Stiinte politice | Transporturi | Turism |
Echipamentul de implantare ionica
Implantarea ionica este un proces prin care ionii dopanti sunt introdusi direct intr-un substrat (prin bombardament ionic) dupa ce in prealabil au fost accelerati, capatand energii intre 10-200 KeV10.
Tehnologia de implantare trebuie sa permita:
- introducerea unei cantitati exacte (specifice de impuritati);
- speciei dopante sa ajunga in locurile si la adancimea necesara in substrat;
- activarea electronica a ionilor implantati;
- modificarea minima a structurii cristaline a substratului in timpul procesului de implementare.
Echipamentul de implantare (implantoarele), sunt practic cele mai complexe sisteme folosite in fabricarea circuitelor integrate pe scara larga, VLSI (fig.8).
Fig.8. Reprezentare schematica a unui echipament de implantare ionica
Ele contin mai multe sisteme:
- sursa de alimentare cu dopant - care contine speciile ce vor fi implantate; cei mai comuni ioni folositi pentru implantare in siliciu sunt B, P si As; sursele preferate sunt gazoase, astfel incat se folosesc compusi ai acestor dopanti; o valva reglabila permite alimentarea cu un astfel de gaz a sursei de ioni;
- sursa de ioni - cu sursa proprie de alimentare si pompa de vid ce permite ionizarea gazului furnizor de ioni dopanti producand plasma cu presiune redusa 10-3 Torr; in sursa ionii sunt formati fie prin ciocnire cu electronii produsi printr-o descarcare in arc fie produsa prin emisia termica a unui catod fierbinte (de tip Freeman - in implantoare de curent mediu);
- extractor de ioni si dispozitiv de analiza - prin care sunt selectati anumiti ioni in functie de masa lor.
Acest document nu se poate descarca
E posibil sa te intereseze alte documente despre: |
Copyright © 2024 - Toate drepturile rezervate QReferat.com | Folositi documentele afisate ca sursa de inspiratie. Va recomandam sa nu copiati textul, ci sa compuneti propriul document pe baza informatiilor de pe site. { Home } { Contact } { Termeni si conditii } |
Documente similare:
|
ComentariiCaracterizari
|
Cauta document |