QReferate - referate pentru educatia ta.
Cercetarile noastre - sursa ta de inspiratie! Te ajutam gratuit, documente cu imagini si grafice. Fiecare document sau comentariu il poti downloada rapid si il poti folosi pentru temele tale de acasa.



AdministratieAlimentatieArta culturaAsistenta socialaAstronomie
BiologieChimieComunicareConstructiiCosmetica
DesenDiverseDreptEconomieEngleza
FilozofieFizicaFrancezaGeografieGermana
InformaticaIstorieLatinaManagementMarketing
MatematicaMecanicaMedicinaPedagogiePsihologie
RomanaStiinte politiceTransporturiTurism
Esti aici: Qreferat » Documente constructii

Echipamentul de implantare ionica



Echipamentul de implantare ionica


Implantarea ionica este un proces prin care ionii dopanti sunt introdusi direct intr-un substrat (prin bombardament ionic) dupa ce in prealabil au fost accelerati, capatand energii intre 10-200 KeV10.

Tehnologia de implantare trebuie sa permita:

- introducerea unei cantitati exacte (specifice de impuritati);

- speciei dopante sa ajunga in locurile si la adancimea necesara in substrat;



- activarea electronica a ionilor implantati;

- modificarea minima a structurii cristaline a substratului in timpul procesului de implementare.

Echipamentul de implantare (implantoarele), sunt practic cele mai complexe sisteme folosite in fabricarea circuitelor integrate pe scara larga, VLSI (fig.8).

Fig.8. Reprezentare schematica a unui echipament de implantare ionica

Ele contin mai multe sisteme:

- sursa de alimentare cu dopant - care contine speciile ce vor fi implantate; cei mai comuni ioni folositi pentru implantare in siliciu sunt B, P si As; sursele preferate sunt gazoase, astfel incat se folosesc compusi ai acestor dopanti; o valva reglabila permite alimentarea cu un astfel de gaz a sursei de ioni;

- sursa de ioni - cu sursa proprie de alimentare si pompa de vid ce permite ionizarea gazului furnizor de ioni dopanti producand plasma cu presiune redusa 10-3 Torr; in sursa ionii sunt formati fie prin ciocnire cu electronii produsi printr-o descarcare in arc fie produsa prin emisia termica a unui catod fierbinte (de tip Freeman - in implantoare de curent mediu);

- extractor de ioni si dispozitiv de analiza - prin care sunt selectati anumiti ioni in functie de masa lor.


Nu se poate descarca referatul
Acest document nu se poate descarca

E posibil sa te intereseze alte documente despre:


Copyright © 2024 - Toate drepturile rezervate QReferat.com Folositi documentele afisate ca sursa de inspiratie. Va recomandam sa nu copiati textul, ci sa compuneti propriul document pe baza informatiilor de pe site.
{ Home } { Contact } { Termeni si conditii }